溅镀高熵合金氮化薄膜提升刀具性能的研究

简介

以高熵合金AlCrNbSiTiV为靶材，用直流磁控溅镀系统在刀具上沉积高熵合金氮化薄膜。通过田口-灰关联法研究直流磁控溅镀工艺参数沉积时间、基材偏压、溅镀功率和基材温度对沉积速率、薄膜硬度和刀具寿命的影响。对实验数据进行方差分析确定影响性能的主要因素，对其信噪比进行灰关联分析实现多目标优化。采用高功率脉冲磁控溅镀技术沉积的薄膜更致密、表面更光滑、硬度更高、刀具性能更优。