基于电子动态调控的飞秒激光制孔新技术及应用

简介

提出了基于电子动态调控，率先攻克了微米级高深径比制孔的世界性难题；基于多尺度观测系统，为微孔加工新原理提供了观测证据。参与研制了国际首套飞秒激光电子动态调控微细制孔装备。解决了微孔高深径比、高孔型质量的一致性加工难题，主要指标国际领先。并实现了其重大应用： 1) 作为某核聚变工程核心构件靶球微孔唯一加工工艺； 2) 开发了用于密封容器阳性样品微孔制备的专用工艺。