“玻”光粼粼——玻璃基板激光诱导刻蚀加工国产化装备领航者

简介

“玻”光粼粼——玻璃基板激光诱导刻蚀加工国产化装备领航者项目：针对目前先进封装技术中，硅通孔技术无法保证高频信号传输完整性的难题以及玻璃基板互连孔群阵列加工高精高效加工难题，提出激光诱导与多能场辅助的复合刻蚀加工新方法，采用飞秒贝塞尔激光单脉冲飞行加工模式，自主研发了激光路径优化软件，通过集成四种优异算法，在玻璃表面以最高效率加工出海量改性点阵差异图案，再进行刻蚀加工，研制了多超声头相控阵列，建立超声频率、刻蚀液配方、刻蚀时间、温度场等多能场加工参数与孔壁质量之间的精确控制模型及控制方法，解决了玻璃硬脆基板(石英/高硼硅/硼硅铝盐、碳化硅等)差异孔群阵列加工的高精高效高一致性的核心难题，研发了成套加工工艺与装备。