多光子聚合大尺寸三维纳米直写系统

简介

现有多光子聚合三维纳米直写技术急需突破的制造技术瓶颈在于：如何在高动态工况下克服大行程运动系统的非线性惯性振动，实现微秒时间和纳米空间上的精准定位控制，最终实现大尺寸的多光子聚合三维纳米直写加工。本作品研发了一套多光子聚合大尺寸三维纳米直写系统，可实现“无拼接”的三维纳米材料直写加工，突破了现有纳米材料加工依靠拼接实现大尺寸制造的行业瓶颈，实现了纳米三维结构加工工艺与装备的创新。