基于主-副数字微镜的光纤器件数字光刻系统

简介

　　功能性光纤器件是光纤通信、光纤传感等技术领域的关键器件，加工成本高、效率低是目前制约其产业化生产的瓶颈问题，探寻其加工技术已成为世界范围的研究热点。本作品提出了一种基于主-副数字微镜协同调制的数字光刻方法，并以此为基础搭建了光纤器件数字光刻系统，经实验验证实现了0.7微米极限分辨力。该系统具备高精度、低成本、高效率等优点，为光纤器件的产业化加工提供了新的方法和技术途径，市场应用前景广阔。