高精度晶圆瑕疵智能速检系统

简介

本团队带来的科技产品——高精度晶圆瑕疵智能速检系统，主要通过晶圆缺陷的视觉检测和离散控制技术，提高探针台探针对准的精度与效率，从而更好地测试晶圆的光电参数。本系统运行稳定，自动化程度高，兼容性强，检测精度高，可覆盖大功率阵列、小功率阵列等电学特性和光学特性测试分析，一台多用，极大节约了企业的测试成本。