氟尽其用-SF6高效降解与资源化利用技术

简介

该项目开发了一套高效处理强温室气体SF6的技术及设备。核心突破在于： 1.用“光+热+电”协同反应器将SF6降解率提升至99%以上，能耗比传统方法降低40%； 2.创新“边降解边转化”模式，把SF6分解产生的氟原子直接变成半导体行业急需的六氟化钨等高价值电子特气（价值提升百倍）； 3.设备全自动运行，通过特殊催化剂和尾气净化系统彻底消除有毒副产品，实现“废气变黄金”的环保增值循环。