眼见为实——激光共聚焦显微镜下原位划痕仪

简介

原位微纳划痕测试是研究动态接触载荷作用下材料微观变形损伤过程与机制的有效手段。本作品研制了一款激光共聚焦显微镜下原位划痕仪，突破了现有仪器测试难以兼容图像分辨率与刷新率的瓶颈。攻克了步进与直驱复合压电精密驱动加载、低耦合与高精度两轴微力检测、法向力波动自适应抑制等关键技术，实现了划痕过程动态、高分辨率观测。在IEEE TIE/TII等发表SCI论文4篇；申请专利10项；仪器在6家单位得到示范应用。