丝印薄膜表面多级微结构的一步法可控构筑及其压阻特性调控

简介

柔性压力传感器敏感层的表面多级微结构设计是提升其性能指标的有效途径。然而，如何实现表面多级微结构的分级调控及规模化构筑仍颇具挑战。本文提出利用丝印油墨拉丝法一步原位构筑“点-线-面”三级递增式微格栅压敏薄膜。通过调控油墨流变性及丝印参数，建立微格栅结构的成型与调控机制，阐明其界面接触及阻变受控机制，建立微格栅薄膜的材料结构构效关系。成果为柔性压力传感器的规模化制备提供技术、理论储备和工艺范式。