基于新型质子跃迁机制的超高精度超快响应湿敏薄膜的研发

简介

湿度是最难精准检测的环境参数之一，目前最先进的湿度传感器（电子式）仍不满足芯片制造等高精尖领域需求。湿敏薄膜是该类传感器的“眼睛”，直接决定性能优劣。项目以“新机制、新材料、新工艺”为突破点，成功研发NH4+@GO湿敏薄膜，较全球最先进湿敏材料，响应提升100倍，精度提升10倍。负责人（一作）成果投稿Nature正刊返修。项目发表SCI论文20篇，专利11项，获院士等顶尖专家认可，多场景良好试用。