软物质·硬科技——液晶矢量光刻原理及装置

简介

本作品基于液晶矢量全息技术，创新性地在基于光强信息的掩模光刻基础上引入光的偏振维度调控，从单元信息熵的角度提出“以维度代密度”的矢量光刻新方法，以期突破传统光刻技术微缩路径难度不断加大的瓶颈。团队成员以一作/共一身份在eLight（IF：27.2）、Nature子刊等国际顶尖期刊上发表论文11篇，另有申请并公开专利3件，为后摩尔时代光刻技术发展提供新路径。