基于氮化镓共振隧穿二极管的太赫兹检测芯片研发
第十七届“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛
2021
国赛
课外学术科技作品竞赛（主体赛）
未获奖
职工
孙志鹏，男，基于氮化镓共振隧穿二极管的太赫兹检测芯片研发项目主要成员，曾度参与了芯片从版图到流片的全过程，特别是在高精度电子束光刻、低损伤干法刻蚀等关键微纳工艺环节贡献突出。通过反复实验与参数优化，成功解决了氮化镓材料加工中的表面损伤和侧壁陡直度等工艺难题，显著提升了芯片的成品率和性能一致性。
暂未公开
暂未公开
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