高精度阵列式温度传感系统
第十八届“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛
2023
省赛
课外学术科技作品竞赛（主体赛）
二等奖
无
研究的项目面向工业过程控制、精密制造及医疗设备等领域对高分辨率温度场实时监测的迫切需求，研制一种基于MEMS工艺的阵列式温度传感系统。通过创新性设计分布式热电堆传感器阵列与自适应信号调理电路，突破传统单点测温在空间分辨率（目标≤0.1mm）与测量精度（±0.05℃）上的技术瓶颈。研究重点包括：微纳传感器阵列的晶圆级集成工艺、温度场重构算法、多通道数据融合补偿技术以及动态标定方法。项目将建立从敏感元件设计、封装抗干扰优化到三维温度场可视化软件的全链条技术方案，最终形成可覆盖-50℃~300℃量程的模块化系统，为半导体制造、动力电池热管理等场景提供关键测量手段。
暂未公开
暂未公开
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