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软物质·硬科技——液晶矢量光刻原理及装置

南京大学
特等奖
特等奖
省赛
课外学术科技作品竞赛(主体赛)

基础信息

比赛名称

第十九届“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛

参赛年份

2025

比赛级别

省赛

参赛类别

课外学术科技作品竞赛(主体赛)

获奖情况

特等奖

项目发展信息

项目转化情况

未转化

是否创业


项目简介

"当前,全球数据爆炸式增长,对存储、计算、传输这些数据的核心光电子器件提出了前所未有的高要求。而这些器件的制造,高度依赖于光刻技术。传统光刻技术沿着微缩路径发展,然而这条路已经逼近物理极限,面临原子尺度的瓶颈和巨大的能耗问题。 传统光刻技术在光刻系统的曝光过程中,只利用了光的“振幅”这一个自由度,本团队跳出思维定式,利用软物质液晶的多维光场调控能力,创新性地引入了“偏振”自由度,实现了“偏振+振幅”的矢量光刻,并自主研发出核心的“液晶矢量光刻装置”。它的突破性在于,一步曝光即可“偏振”和“振幅”信息的并行刻录。这意味着在单位面积上,能写入的信息熵提升了8.5倍,刻写效率提升了180倍。 这项技术为解决后摩尔时代光刻技术面临的核心难题提供了一种全新的、具有巨大潜力的方案。它有望应用于下一代高性能光子芯片、智能光电子系统以及光量子计算、感存算一体等领域,突破现有信息处理系统的密度与能耗瓶颈。"

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