基于量子传感的晶圆级电磁兼容测试设备

简介

团队创造性地将光纤金刚石氮空位色心量子磁传感技术应用到芯片电磁兼容测试领域中，攻克了荧光收集效率、微弱信号处理、晶体矢量定向和模块化集成等关键技术难题，并自主研制了晶圆级电磁兼容测试设备原型机。该技术突破了现有电磁近场探头的分辨率和工作频率局限，实现了芯片表面微波磁场的高分辨测量，在芯片电磁兼容测试领域内有重要应用价值。