基于刻蚀坑可控生长的极紫外反射元件原子级抛光系统
第十八届“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛
2023
国赛
课外学术科技作品竞赛（主体赛）
特等奖
无
参与项目研究，首先研究电化学抛光中刻蚀坑生长规律，提出了通过刻蚀坑几何包络创成原子级表面的抛光机制，又通过“行星运动”机构实现产物均匀去除、照度反馈机制实时监测工件表面粗糙度，最终成功实现微结构保形的原子级抛光。未来，该项目将继续致力于开发抛光对象更为多样，适用场景更为广泛的超精密抛光工艺。
暂未公开
暂未公开
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