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针对有机半导体薄膜检测的原位蚀刻和亚层分析光谱仪

宁波大学
一等奖
一等奖
省赛
课外学术科技作品竞赛(主体赛)

基础信息

比赛名称

第十八届“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛

参赛年份

2023

比赛级别

省赛

参赛类别

课外学术科技作品竞赛(主体赛)

获奖情况

一等奖

项目发展信息

项目转化情况

未转化

是否创业


项目简介

项目简介: 现有的检测技术无法满足有机半导体薄膜内部检测需要——存在数据详尽水平低、检测精度低、检测效率低等问题,本团队成员针对这些缺点首先对光谱仪需要的各项工艺进行改良创新。首先,研发出了“软等离子体蚀刻”工艺;其次,我们对光学系统进行优化;最后编写高效算法并开发适配软件将光谱和刻蚀技术融合。 取得成果: 现团队成员均以本科生第一发明人或第一作者已经取得科研成果(已授权国家发明专利2项,已受理国家发明专利2项,已受理软件著作权4件,在审SCI论文1篇)

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暂无

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