超快亚微米共聚焦三维检测仪

简介

针对我国微观三维检测仪器主要靠国外进口的问题，团队创新研发了超快亚微米共聚焦三维检测仪DAC-3D。采用空间光调制阵列共聚焦成像提升测量效率；通过色散差动共聚焦方案实现纳米级定位精度；通过宽场轴向色散提升轴向量程；通过空间域移频算法实现超衍射极限分辨。权威第三方检测报告表明，作品横向及纵向分辨率与国际同类先进设备持平，测量效率比国际同类先进装备高一个数量级。申请了23项相关专利，并已授权7项。